本项目研发的高温高精度MEMS压力传感器属于信息科学领域的特种电子元器件，主要应用于航空航天涡轮风扇及冲压发动机、新型火箭发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备的燃烧室、压气机等关键部件的压力监测。对这些关键部件的压力监测不仅有助于提高燃烧性能和推进效率，同时还有助于对该部件的健康和安全状态进行评估。这种元器件以往都是由国外厂商垄断，国内做不到自主可控，导致产业链下游进度不可控甚至国家重点项目受制于人。而高温高精度MEMS压力传感器技术可以对高超音速发动机、重型火箭发动机、大型航空发动机等智能/先进动力系统研制提供关键技术支撑。考虑到国内150℃以上高温压力传感器工程化能力较低的发展状况和国外对我国高温压力传感器禁运的现实情况，150℃以上高温高精度MEMS压力传感器的成功研制标志着我国国防科技工业必须掌握的关键基础技术获得的了重大突破。