1.应用领域

在电子元器件特别是半导体元器件的制造中，各种材料间的接触电阻率的大小直接影响着元器件的性能，反映器件制造的工艺水平。接触电阻及接触电阻率的测量是各种电子元器件特别是半导体元器件制造及性能表征过程中的一个重要指标，准确、方便、快速测量出接触电阻率是十分必要的。例如，本系统用于定量表征热电器件的热电材料与电极、及多段热电元件中两种热电材料之间界面接触电阻率，是目前高性能热电器件研制的重要技术手段。

2.技术特点

(1)采用机器视觉和运动控制实现测试探针在待测样品表面精确定位与电阻测量，定位准，精度高，可重复性好，操作简单，不刮伤样品，样品尺寸范围宽；

(2)采用工业相机代替人眼工作，可有效避免测试人员眼睛疲劳，提高测试效率。

3.性能指标

(1)尺寸范围为2×2×2mm～10×10×20mm。

(2)测试精度为±0.5μΩ.cm2。

4.当前状态

(1)目前实验室搭建了两台相关测试设备，测试样品超过500批次，系统运行可靠。

(2)编写了企业标准，尚未发布。