1.应用领域

电子背散射衍射仪(EBSD)是一种能在较大范围内(微米尺度)、高精度地(纳米尺度)实现微区晶体学显微结构分析的新型显微分析设备，可应用于几乎所有的多晶和单晶材料，获得晶粒尺寸分布、相组成、取向以及织构等的统计信息。

2.技术特点

采用新型稀土掺杂荧光材料与高灵敏CMOS相机相结合的高效磷屏探测器设计方案，从源头上提高采集衍射花样的信噪比；采用衍射花样图像小波降噪、图像旋转、灰度梯度提取与霍夫变换相结合的方法，提高菊池带识别标定精度，从而显著提高其空间分辨率和角度分辨率。

3.性能指标

高分辨电子背散射衍射仪EBSD：空间分辨率≤70nm、角度分辨率≤0.07°、可测量最小应变≤ 0.1%、实现相鉴定、取向分布统计分析功能。

4.当前状态

目前项目组完成高分辨率电子背散射衍射仪样机一台；具备批量生产的能力。