针对高功率激光技术的发展需求，在国家大型激光装置需求的推动下，发明了高损伤阈值激光薄膜的全流程工艺控制及各种工艺过程的定量化技术和装置，实现了一系列髙损伤阈 值激光薄膜器件的制作和应用，提升了我国髙损伤阈值激光薄膜器件的性能，同时将“髙损伤阈值激光薄膜器件关键技术”成功转移到企业，和企业共建了髙损伤阈值激光薄膜器 件中试生产线，将为国家重大需求及国内外激光市场提供优质的激光薄膜光学元器件。

关键技术：

1.提出了人工缺陷研究基板-薄膜体系损伤机理的新方法，阐明了缺陷损伤的 物理机制和定量规律，发明了激光薄膜器 件制作的全流程定量化新途径；

2.发明了基板亚表面微纳米尺度缺陷 的高精度探测技术以及多次迭代刻蚀去除技术与装置，制作的光学基板的亚表面缺 陷层 <90nm;

3.发明了基板表面缺陷的定量监测方 法和多频复合超声波定量清洗技术与专用设备，清洗后基板(50nm)表面300mn以 上缺陷的密度<0.6个/mm²;

4.发明了抑制缺陷电场增强效应的膜系设计方法、薄膜制备技术和部件以及激光预处理技术，将器件的损伤阈值提升了 10倍以上。